1. <source id="ffxms"></source>

      <small id="ffxms"><dl id="ffxms"><small id="ffxms"></small></dl></small>
          1. <p id="ffxms"><ins id="ffxms"></ins></p>

              
              

            • 疯狂进化人在线观看国语免费_国产三级黄色片_草草地址线路①屁屁影院成_久久av毛片_来一水AV@lysav

              當前位置:首頁  >  技術文章  >  光刻機的制造為什么這么難?

              光刻機的制造為什么這么難?

              更新時間:2023-01-11  |  點擊率:1452

                   近半個世紀以來,硅一直是世界科技繁榮的焦點,芯片制造商幾乎都在壓榨它的性能。傳統(tǒng)上用于制造芯片的技術在2005年左右達到極限,芯片制造商不得不尋求其他技術,將更多的晶體管塞到硅上,從而制造出更強大的芯片。
                  光刻機必須把工程師繪制的電路板精確無誤地投到硅晶圓上,不允許有絲毫誤差,可見難度之高!

                    將晶體管封裝到芯片上的傳統(tǒng)工藝被稱為“深紫外光刻"(DUV),這是一種類似攝影的技術,通過透鏡聚焦光線,在硅晶片上刻出電路圖案。受到物理定律的影響,這種技術可能很快就會出現(xiàn)問題。利用極紫外光(EUV)在硅晶片上雕刻,將使芯片的速度快100倍,并使存儲器芯片具有類似倍數(shù)的存儲容量增長。


                    1. 芯片制造
                    光刻與攝影相似,它利用光將圖像轉移到基板上。就照相機而言,它的基板是膠卷,而硅是用于芯片制造的傳統(tǒng)基板。掩模就像電路圖案的模板,為在芯片上創(chuàng)建集成電路設計。光被定向到一個掩模上,光線穿過掩模,然后通過一系列光學透鏡將圖像縮小,這個小圖像被投射到硅或半導體晶片上。
                    晶圓上覆蓋著一種叫做光刻膠的感光液體材料,分為負性光刻膠和正性光刻膠兩大類。掩模被放置在晶圓上,當光線穿過掩模照射到硅片上時,它會使沒有被掩模覆蓋的光刻膠變硬。而不暴露在光下的光刻膠仍然有點粘糊糊,并且會被化學清洗掉,只剩下硬化的光刻膠和暴露在外的硅片。正性光刻膠則正好相反,曝光過的光刻膠會被化學清洗掉。
                    制造更強大的芯片的關鍵是光的波長大小。波長越短,可以蝕刻到硅片上的晶體管就越多。更多的晶體管等于一個更強大、更快的微處理器。2001年,深紫外光刻使用的波長為240納米。隨著芯片制造商將波長減少到100納米,他們將需要一種新的芯片制造技術。使用深紫外光蝕刻技術的問題是,當光的波長變小時,光會被用于聚焦的玻璃透鏡吸收,結果是光線無法到達硅片上,晶圓上沒有產生電路圖案。這個時候,極紫外光刻技術就登場了。

                    2. 極紫外光刻原理
                    2001年起,用深紫外光刻技術制造的芯片使用的是248納米的光,也有一些制造商使用193納米光。有了極紫外光刻技術,芯片將用13納米的光制造。基于波長越小成像效果越好的定律,13納米光將提高投射到硅片上的圖案質量,從而提高芯片的運行速度。
                    但整個過程必須在真空中進行,因為這些光的波長很短,連空氣都會吸收它們。此外,EUV光刻機使用了涂有多層鉬和硅的凹面和凸面鏡,這種涂層可以在13.4納米的波長下反射近70%EUV光。如果沒有涂層,光線在到達晶圓片之前就會被完quan吸收。鏡子的表面必須近乎完mei,即使是涂層上的微小缺陷也會破壞光學器件的形狀,扭曲印刷電路的圖形,從而導致芯片功能上的問題。

                    目前,先進的光刻機是極紫外光刻機,它已經制造數(shù)十億顆7nm芯片了。甚至有芯片制造商聲稱,用極紫外光刻技術生產的5nm芯片的不良率比7nm芯片更低。


              image.png





              疯狂进化人在线观看国语免费_国产三级黄色片_草草地址线路①屁屁影院成_久久av毛片_来一水AV@lysav
                
                

                1. <source id="ffxms"></source>

                  <small id="ffxms"><dl id="ffxms"><small id="ffxms"></small></dl></small>
                      1. <p id="ffxms"><ins id="ffxms"></ins></p>

                          
                          

                        • 拉萨市| 陕西省| 黄大仙区| 青铜峡市| 景德镇市| 景宁| 乡宁县| 米泉市| 高青县| 七台河市| 张家川| 商河县| 郸城县| 义马市| 清丰县| 江达县| 漳浦县| 南部县| 田阳县| 广饶县| 台中市| 雷山县| 彭阳县| 榕江县| 鄂托克前旗| 营山县| 华池县| 河源市| 延川县| 伊吾县| 连南| 金沙县| 图们市| 桑日县| 阿克陶县| 中山市| 彝良县| 阿尔山市| 彰化市| 监利县| 华蓥市|