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              當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  EVG鍵合機(jī)  >  對(duì)準(zhǔn)設(shè)備  >  EVG610 BA晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)備

              晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)備

              簡(jiǎn)要描述:晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備專(zhuān)為晶圓與晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)計(jì),晶圓尺寸大可達(dá)150 mm。EV Group鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)提供手動(dòng)高精度帶有底部顯微鏡的校準(zhǔn)臺(tái)。EVG的鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對(duì)準(zhǔn)要求。

              • 產(chǎn)品型號(hào):EVG610 BA
              • 廠商性質(zhì):代理商
              • 產(chǎn)品資料:
              • 更新時(shí)間:2024-11-09
              • 訪  問(wèn)  量: 3830

              詳細(xì)介紹

                晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備用于晶圓到晶圓對(duì)準(zhǔn)的手動(dòng)鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),適用于學(xué)校和工業(yè)研究。
                一、簡(jiǎn)介

                EVG610鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)專(zhuān)為晶圓與晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)計(jì),晶圓尺寸最大可達(dá)150 mm。EV Group鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)提供手動(dòng)高精度帶有底部顯微鏡的校準(zhǔn)臺(tái)。EVG的鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對(duì)準(zhǔn)要求。

               

                二、特征

                zui適用于EVG501和EVG510鍵合系統(tǒng)
                晶圓和基板尺寸可達(dá)150/200 mm
                手動(dòng)高精度對(duì)準(zhǔn)
                手動(dòng)底側(cè)顯微鏡
                基于Windows系統(tǒng)的用戶界面
                *的多用戶概念(無(wú)限數(shù)量的用戶帳戶,各種訪問(wèn)權(quán)限,不同的用戶界面語(yǔ)言)
                桌面系統(tǒng)設(shè)計(jì),占地面積zui小
                支持IR對(duì)準(zhǔn)過(guò)程
                研發(fā)和試生產(chǎn)線的zui低的擁有成本(TCO)
              三、技術(shù)參數(shù)
                1.基本配置:
                臺(tái)式
                機(jī)架:可選
                隔振模式:被動(dòng)
                2.對(duì)準(zhǔn)方式:
                背部對(duì)住精度:±2μm 3 σ
                透射對(duì)準(zhǔn)精度:±1μm 3 σ
                紅外對(duì)準(zhǔn):可選
                3.對(duì)準(zhǔn)臺(tái):
                高精度測(cè)微計(jì):手動(dòng)
                可選:機(jī)械測(cè)微計(jì)
                楔形補(bǔ)償:自動(dòng)

               

               

               

               

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