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產(chǎn)品分類
Product CategoryEVG 510-晶圓鍵合機(jī)(EVG鍵合機(jī)) 是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容。
EVG620 BA自動晶圓鍵合機(jī) 用于晶圓間對準(zhǔn)的自動化鍵合對準(zhǔn)機(jī)系統(tǒng),用于研究和試生產(chǎn)。
EVG301-超聲波晶圓清洗機(jī)-晶圓鍵合機(jī) 基本功能:研發(fā)型單晶圓清洗系統(tǒng)(晶圓清洗機(jī))。
EVG晶圓鍵合自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))可容納四個鍵合室,并具有各種鍵合室配置選項(xiàng),適用于所有鍵合工藝和大300 mm的晶圓。
ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng) 應(yīng)用:高真空晶圓鍵合平臺促進(jìn)“任何物上的任何東西”的共價鍵合
EVG520 IS-晶圓鍵合系統(tǒng) 是單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),用于小批量生產(chǎn)。